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測量精度
2.5+L/200
重復精度
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總放大倍率
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物方視場
8.1~1.3mm
工作距離
82mm
光柵尺解析度
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物方視場
8.1~1.3mm
工作距離
82mm
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0.1um

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重復精度
2.5um
總放大倍率
18~195X
物方視場
8.1~1.3mm
工作距離
82mm
光柵尺解析度
0.1um

測量精度
2.5+L/200
重復精度
2.5um
總放大倍率
18~195X
物方視場
8.1~1.3mm
工作距離
82mm
光柵尺解析度
0.1um

測量精度
/
重復精度
±3um
總放大倍率
/
物方視場
/
工作距離
/
光柵尺解析度
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測量精度
/
重復精度
±3um
總放大倍率
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物方視場
/
工作距離
/
光柵尺解析度
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2.5+L/200
重復精度
2.5um
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物方視場
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0.5um

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重復精度
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物方視場
8.1~1.3mm
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90mm
光柵尺解析度
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物方視場
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90mm
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